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PICOSUN原子层沉积系统ALD R-200 Pro

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产品
PICOSUN原子层沉积系统ALD R-200 Pro
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企业信息
北京亚科晨晖科技有限公司
实名认证 企业认证
成立年份:
2011年
经营模式:
制造商,贸易商
企业类型:
企业单位
主营产品:
光刻机、键合机、原子力显微镜、扫描电镜
公司地址:
联系方式
电话:
18263262536
传真:
0632-5976067
手机:
17616329869
QQ:
26336433337
邮箱:
2633643337@qq.com
产品介绍
加工定制
型号
PICOSUN原子层沉积系统ALD R-200 Pro
用途
PICOSUN原子层沉积系统ALD R-200 Pro
别名
PICOSUN原子层沉积系统ALD R-200 Pro
规格
PICOSUN原子层沉积系统ALD R-200 Pro
有效期至
长期有效
最后更新
2024-11-11 09:36
浏览次数
223

PICOSUN原子层沉积系统ALD R-200 Pro

(PICOSUN™ ALD R-200 S Pro)

原子层沉积系统( ALD P-200)

 

 

名称:原子层沉积系统  产地:芬兰

 

Picosun简介

Picosun是yi家全球公司,Picosun的总部位于芬兰的Espoo,其生产设施位于芬兰的Masala(Kirkkonummi)。PICOSUN®ALD设备专为高产量和高产量而设计,并且不断发展以提高效率。Picosun适应性强其客户包括***  大的电子制造商,小型的创新型挑战者以及全球ling先的大学。 Picosun的组织机构和种类繁多的ALD解决方案都可以满足每个客户的需求。PICOSUN®研发工具具有独特的内置可扩展性,可确保将研究结果平稳过渡到大批量工业制造中,而不会出现技术差距。Picosun的热情在于创新。当您想与设备制造商共同创建定制的ALD解决方案,从而引ling行业发展时,Picosun是您的合作伙伴。

 

PICOSUN™ P系列量产ALD系统定义了高产量ALD的新时代。我们全自动化、真空集群与产线兼容的P系列ALD确保了***大的产出效率,并且具有***的工艺纯度和薄膜均匀性,甚至能完全满足具有***严格要求的半导体行业标准。PICOSUN™ P系列ALD高效紧凑的设计节约了昂贵的场地成本,系统的易维护性减少了停工期。对于系统的维护、工艺故障的排除,我们为客户提供专业的售后服务Picosupport™。根据用户的需求,确保每时每(24/7/365)快速提供全面的解决方案。在购买之前,我们提供做样服务,确保系统具有***好的性能,完全满足您的需求。

 

技术指标

 

衬底尺寸和类型

50 – 200 mm /单片

156 mm x 156 mm 太阳能硅片

150 mm x 150 mm 显示面板

工艺温度

50 - 500 °C , 可选更高温度

基片传送选件

气动升降(手动装载)

半自动装载,用PICOPLATFORM™200集群系统实现

25片晶圆盒对盒式全自动装载(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM™200集群系统实现

标准

SEMI S2 认证(认证中)

前驱体

液态, 固态, 气态, 臭氧源, 等离子体(***多4路气体):

前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务

6根独立源管线,***多加载12个前驱体源(加上Plasma管路,共7根独立源管线)

重量

790 kg

尺寸 (W x H x D)

160 cm x 80 cm x 240 cm

可选件

集群工具, PICOFLOW™ 扩散增强器, 集成椭偏仪, QCM, RGA, N2发生器,尾气处理器,定制设计,与 工厂软件连接服务。

验收标准

标准设备验收标准为 Al2O3 工艺,

其他工艺可具体协商:其他工艺、应用具体验收标准如:

--不均匀性

--颗粒物含量

--重金属污染

--电学性能

 

 

应用领域

PICOSUN™ 200mm 生产线上的产品是200mm以下晶圆的自动化、高产量的工业ALD加工设备。包括PICOSUN™ P系列Pro ALD设备。该工具可以独立工作,也可以集成到PICOPLATFORM™200真空集群系统以达到更高的产量和自动化水平。为了节约昂贵的设施空间,所有PICOSUN™的ALD系统有着紧凑,高效的设计。集成的专业机柜,装载着前驱体和电子元件,保证了快速简便的维护和***短的停机时间。PICOSUN™ P系列Pro工具保证了***大产能以及***节约成本的情况下得到**的ALD工艺质量,并履行严格的现代半导体产业的生产力和安全要求。

 

免责声明:当前页为 PICOSUN原子层沉积系统ALD R-200 Pro产品信息展示页,该页所展示的 PICOSUN原子层沉积系统ALD R-200 Pro产品信息及价格等相关信息均有企业自行发布与提供, PICOSUN原子层沉积系统ALD R-200 Pro产品真实性、准确性、合法性由店铺所有企业完全负责。世界工厂网对此不承担任何保证责任,亦不涉及用户间因交易而产生的法律关系及法律纠纷,纠纷由会员自行协商解决。

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工商信息*以下内容来自第三方启信宝提供
法定代表人
彭辉
经营状态
存续
注册资本
100 万人民币
实缴资本
100 万人民币
统一社会信用代码
911101055732342852
组织机构代码
573234285
企业注册号
110105013752024
企业类型
其他有限责任公司
登记机关
北京市工商行政管理局朝阳分局
成立日期
2011年04月08日
营业期限
2011年04月08日--2031年04月07日
核准日期
2019年02月15日
注册地址
北京市朝阳区酒仙桥路14号53幢6层605室
经营范围
技术推广服务;市场调查;经济贸易咨询;展览服务;组织文化艺术交流活动(不含演出);销售机械设备、五金交电、电子产品、金属材料、建材、化工产品(不含危险化学品);货物进出口、技术进出口、代理进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)