深圳市英能电气有限公司创立于2015年，是一家公司集真空镀膜电源的研发，生产与销售为一体的高新企业。我公司已获得GJ高新企业认定，通过***：2015认证，拥有软件著作权及实用新型共13份。公司产品已获得CE认证，并通过ROHS测试。
我公司电源以自主研发和制造为主，专业为客户提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。公司产品可满足真空镀膜行业的各种需求，主要有直流磁控溅射电源，单极性磁控溅射电源，脉冲偏压电源，中频磁控溅射电源，离子源电源/高压离子源，HVMS 高压脉冲电源，弧电源等。公司本着“ 以质量求生存，顾客至上” 的原则，以创新，精细的专业知识致力于为客户提供专业，**的服务。
采用高频逆变方式及**的IGBT功率模块，有效改善靶面电荷积累现象，减少溅射靶表面的打火次数；膜层致密、光洁度较好；具有效率高、运行稳定等优点 。
可按客户具体要求定制！
一、应用领域
1、单极性磁控溅射靶材
2、金属膜、碳膜和部分氧化物
3、氮化物及碳化物膜
二、 主要特点
1、具备过压、过载和过热等保护
2、多功能触摸屏、操作简单
3、电弧反应灵敏
4、有效改善靶面电荷积累现象，减少溅射靶表面的打火次数
5、默认恒流模式，可选恒流、恒压、恒功率模式
6、外部接口：RJ45、RS485
7、通讯模式：RJ45、RS485、WIFI
8、工作效率：≥90%
9、控制精度：≤1%
10、绝缘等级：B级
11、防护等级：IP20
12、外壳电阻：≥200MΩ
13、使用环境温度：-20～+45℃
14、环境湿度：≤85%
三、主要技术参数
项目 Item | 型号 Model | ||
PM-10 | PM-20 | PM-30 | |
输入电压 Input | 三相交流380V +5%，50～60 Hz Three-phase AC 380V +5%, 50~60 Hz | ||
输出频率 Frequency | 40～80kHz | ||
占空比 Duty | 10%-80% | ||
输出电压 Voltage | 10～1000V | ||
输出电流 Peak Current | 10A | 20A | 30A |
输出功率 Peak power | 10KW | 20KW | 30KW |
通讯方式 Interface | RJ45、RS485、WIFI、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议 RJ45、RS485、WIFI、Optical fiber and other communication ports、MODBUS communication protocol | ||
冷却方式 Cooling | 水冷+风冷 Water + Air | ||
尺寸 Size | 706mm（D）×480mm（W）×225mm（H） | ||
重量 Weight | 约60kg | ||
联系方式：吴生 13717007958 0755-23248674 QQ：2963884600 邮箱：eps@eps-power.cn
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