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设备名称 |
RCA清洗机 |
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用途 |
晶圆的RCA清洗 |
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操作方式 |
手动/半自动/自动 |
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适用领域 |
半导体材料、集成电路、MEMS、LED芯片、功率器件等 |
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适用工艺 |
SC-1、SC-2、SPM、BOE、超声（兆声）清洗、QDR等； |
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清洗方式 |
槽式清洗 |
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可清洗尺寸 |
2吋---12吋晶圆 |
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主体材质 |
全不锈钢框架，外包进口PP、PVC板 |
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槽体材质 |
石英、PVDF、PTFE、***等 |
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温控精度 |
±1℃ |
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安全防护 |
自动安全门、漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统 |
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模块化设计 |
满足客户多种工艺及产能的定制化要求 |
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可编程菜单，方便用户操作，直观 |
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实时流程显示，可控性强 |
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多级权限密码，方便管理，安全可靠 |
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自动保存生产数据 |
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可实现远程控制 |
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可实现功能 |
药液管理系统（自动供液、自动补液、循环过滤）、在线加热、甩干、电导率检测、恒温系统、百级FFU等 |
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