设备型号 |
KT-Z2DQX |
KT-S2DQX |
KT-Z5DQX |
KT-S2GQX |
供电电源 |
AC220V(AC110V可选) |
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工作电流 |
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
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射频电源功率 |
1000W |
150W |
300W |
150w |
射频频率 |
40KHz |
13.56MHz |
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耦合方式 |
电容耦合 |
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真空度 |
≤50Pa |
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腔体材质 |
高纯石英 |
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腔体容积 |
2L(内径110MMX深度220MM) |
2L(内径110MMX深度220MM) |
5L(内径160MMX深度310MM) |
φ100x200mm |
观察窗内径 |
Φ50 |
Φ50 |
Φ70 |
无 |
气体流量 |
10—100ml/min(其他量程可选) |
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过程控制 |
过程自动控制 |
过程手动控制 |
过程自动控制 |
过程手动控制 |
清洗时间 |
自动开关 |
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开盖方式 |
铰链侧开式法兰 |
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外形尺寸 |
150*500*250mm |
450*460*370mm |
530*580*420mm |
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重量 |
20kg |
35kg |
40kg |
40Kg |
真空室温度 |
小于65°C |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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标配 |
KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本。 |
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