1）适用于6-12英寸硅片的去边处理
2）具有两套硅片上料线,由机器人把硅片从上料端搬运到寻参定中心位置
3）用真空吸盘吸附硅片的方式来搬运硅片
4）在下料区有独立的下料槽，片篮可上下移动，人工手提片篮下料
5）设备由PLC控制，各部分均可以独立操作
6）采用国际知名电气元件
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