智庭科技TMM-3207 手动测量金相显微镜工具显微镜厂家直发

一、 仪器主机说明

TMM-3207是我司针对半导体行业推出的一款高性能的手动测量金相显微镜，结合公司多年影像测量和扫描的生产经验，以及自主研发的三维测量扫描软件，将设备的高性能的特点发挥到**。

l 选用高清品牌相机，措载soptop高端金相系统，整体成像清晰无闪烁，视场开阔。

l 物镜可切换多种倍率：5x,10x,20×,50x(选配)100×(选配),**综合倍率**可达    

2000倍以上。

l 标配反射和透射LED可程控光源或非程控卤素光源。

l 利用可变孔径光阑，可进行无衍射观察测量。

l 单视野范围内测量精度±1μm,重复精度±0.5μm加装光谱共焦位移传感器可测高度、

深度、平面度，测量精度±1μm。

l 可根据客户需求，订制各种尺寸工作台，目前*大行程可做3000*2000mm,*小行程可做

50*50mm工作台。

l 有精调/微调两种模式，便于**聚焦和观察测量，快速定位焦面。

l 可根据客户要求加配超长工作距离APO物镜，激光测头各种规格摄像机以及更高精度光

栅等(光尺**选配0.01μm)。

l 自主研发金相测量软件，页面简洁大气，操作方便易上手，可适高精度要求的复杂工件

测量。

二、技术参数

三、 软件介绍

说明：随着软件的不断升级与更新，以下所述功能可能与实际版本略有不同，更多的功能请参照软件本身或咨询我公司专业技术人员。

影像测量软件界面简洁、操作直观、上手容易、功能强大，用户可快速高效的完成测量任务。

1）简洁友好的界面

将主要及常用的功能以按钮形式放在主界面，易于熟悉掌握，用户只要简单的点击和拖拽鼠标即可完成几乎所有的测量动作。

2）强大的几何测量功能

2.1）软件提供完整的几何测量功能

可对点、线、圆弧、圆、矩形、椭圆、键槽(腰型特征)、开曲线、闭曲线、平面、圆柱、圆锥、球等几何元素进行测量。当Z轴增加测头或激光位移传感器等设备后还可对3D图形元素如圆柱、圆锥、圆球以及三维空间内的面进行测量。根据元素的实际特征，每种元素可采用多种不同的方法测量。寻边结束即可直接获取元素的坐标值、长度、面积、体积等数据。

2.2）软件具备强大的寻边功能

能够抓取很弱的边缘，可任意设定寻边方向，避免寻边错误，灵活设置寻边参数，去除杂点及毛边的影响。

3）自动对焦功能及对焦点测量功能

由软件自动判定对焦是否*清晰，此功能也可用来测量高度及平面度。

4）方便快捷的应对复杂形状工件及大批量工件测量

4.1）元素的平移阵列测量

对于等距排列的特征元素，只需人为测量一个元素，即可通过平移阵列功能自动完成所有元素的测量。

4.2）寻边位置微调功能

在阵列测量时，由于零件加工存在误差，实际阵列位置和理论位置会产生偏差，此时会出现寻边不准或寻边失败的问题。本软件通过寻边位置微调功能有效的解决了该问题，用户可设定软件自动根据实际阵列位置来调整寻边位置。

4.）工件的阵列及阵列宏测量

当测量大批量工件时，只需人为测量一个工件，即可通过工件阵列及阵列宏功能自动完成所有工件的测量。无论单个夹具或者多个夹具都能同时应对，大大节省了时间和提高测量效率。

4.4）导入CAD图形测量功能

可以直接用CAD软件绘制尺寸图，导入软件后即可实现自动测量，无需采点寻边，非常方便对形状复杂或不规则图形进行坐标测量和轮廓对比测量。

4.5）对比测量功能

可预设刻度线、角度线、标准圆用以对工件进行对比测量。也可直接在图像轮廓上拉出尺寸线或角度线动态观察工件长度、角度、台阶高、直径等尺寸。

4.6）快捷定位局部特征的地图导航功能

可用软件控制机台将工件整体扫描拼合成为一张图片，甚至可直接导入拍照获得的工件图片，并以该图片像素点为单位来**定位工件。此功能使机台迅速自动定位到任意细微的局部位置，特别适用于大尺寸工件定位和具有大量类似特征的工件**定位。

5）自动编制用户程序，且用户程序编辑简单灵活

5.1）软件根据用户测量步骤顺序自动编制用户程序，并控制程序的运行停止等。

5.2）可以对用户程序及每一个步骤进行编辑、排序、插入、删除等操作，适应各种复杂多变的测量步骤。

5.3）测量大批量工件时，只需进行一次寻边测量，避免重复动作，省时省力。

6）自动计算元素的形位公差

软件提供完整的公差设定和计算功能，可设定和计算形位公差如直线度、圆度、平面度、圆柱度、轮廓度、位置度、平行度、垂直度、同心度、圆跳动等，根据公差自动判别OK或NG，并具备NG示警及提示功能。形象化的公差图表使用户获知具体超差位置，方便查找超差原因。

7）多样化的数据报表及图形数据导出功能

软件支持结果数据以多种报表格式（EXCEL、WORD、TXT、PDF）导出，并支持EXCEL报表格式设置，可**输出位置。

7.1）导出EXCEL报表

7.2）EXCEL导出设置

7.3）导出WORD及 TXT报表

7.4）软件可导出dxf和igs格式图形数据，并可直接将图形用于逆向工程

8）丰富开放的外设连接功能

8.1）支持光谱共焦位移传感器

8.1.1）简介

光谱共焦位移传感器一种精度可达亚微米量级的非接触式位移测量系统，对于表面漫反射或镜反射的物体甚至透明材质皆可测量其位移或厚度，基于出光与回传讯号路径同轴的特性，它亦适用于深孔、盲孔工件等测量。

8.1.2）原理 

8.1.3）应用

8.2）支持机械手等外接设备，并且能将这些设备整合在一起

四、服务承诺

（一）保修期内服务

1．新仪器提供1-2天的培训服务，保证受训人员熟练使用我司仪器，仪器自验收合格之日起免费质保12个月。

2．在质保期内因我方原因造成的仪器故障，我司负责免费维修及更换零配件。

（二）保修期外服务

我司承诺对仪器实行终身维修服务，仪器质保期满后，也能提供及时、优质、价格优惠的技术服务和备品供应，更换配件只收成本费。

（三）售后服务响应时间

我司采取定期回访与随时远程咨询相结合的售后服务制度，力求及时发现并解决客户使用中的困难和问题，如有必要我司将在接到请求后由专业工程师2小时响应，8小时派专业工程师赴现场解决问题，7Ｘ24小时提供售后服务支持。

注意: 在拆卸仪器包装和搬运仪器时必须有我司专业工程师在场。