RF射频低温等离子体其离子和电子的能量可达10eV以上，可以处理各种不导电的高阻材料，如聚丙烯（PP、OPP）、聚乙烯(PE)、聚氯乙烯(PVC)、PO、聚苯乙烯（PS、BOPS）、高抗冲聚苯乙烯（HIPS)、ABS、聚酯（PET、APET）、聚氨酯（PUL）、聚甲醛、聚四氟乙烯、乙烯基、尼龙、（硅）橡胶、玻璃、有机玻璃、ＡＢＳ等各种高分子材料制成的二维和三维物体。主要用于处理平面、准平面和旋转平面。即使像氟塑料、硅橡胶等极难处理的高分子材料经处理后的表面张力也能 达到 65~70 达因/厘米。
RF射频低温等离子体清洗机的离子和电子能量高，单电极，处理范围大、单电极可设计成各 种形状，它特别适合对各种二维和三维高分子材料物体的表面进行改性处理。通过低温等离子 体表面处理，材料表面发生多种的物理、化学变化，或产生刻蚀而(人眼难以观察到)粗糙，或形 成致密的交联层，或引入含氧极性基团，使亲水性、粘结性、可染色性、生物相容性及电性能 分别得到改善。 低温等离子体技术具有工艺简单、操作方便、加工速度快、处理效果好、环境污染小、节能 等优点，在表面改性中广泛的应用。
下图为：射流式RF射频低温等离子体在大气压下喷射出的低温等离子体流。由于喷射出的等离子体流为开放式，特别适合处理各种三维物体上的孔、槽和凹陷部位。
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