1）采用典型、普遍的湿式化学清洗方法，使硅片清洗更彻底
2)适用于多种规格尺寸硅片的清洗
3）在线式甩干，保证清洗的洁净度
4）全自动控制，可选择自动配、补液，保证了操作的安全稳定性
5）高速移载机械手，伺服驱动控制，保证运行平稳，定位可靠
6)采用国际知名电气元件
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